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鋰氮共摻雜的金剛石半導體的微波等離子氣相沉積系統

900   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:15:33
本發明公開了一種鋰氮共摻雜的金剛石半導體的微波等離子氣相沉積系統，涉及半導體技術領域。包括氣相沉積室，所述氣相沉積室內設置有用于放置襯底的安裝底座，安裝底座上方用于對襯底進行加熱的熱絲，所述氣相沉積室內還設置有粉末鋪設機構，以使粉末均勻鋪設在襯底上；所述粉末鋪設機構包括兩端開口并豎直設置的料筒、入料管道和篩料板；所述入料管道的第一端延伸至氣相沉積室外，第二端延伸至料筒內且豎直朝上；所述篩料板設置于料筒的上方，篩料板正對料筒頂部開口的位置設置有篩孔。本發明能夠保證在半導體材料制備過程中，含有鋰元素的粉末達到在水平向均勻鋪設的效果。
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“鋰氮共摻雜的金剛石半導體的微波等離子氣相沉積系統” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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