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周期極化鈦擴散近化學計量比鈮酸鋰條形波導及制備方法

856   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 22:15:00
本發明公開了一種周期極化鈦擴散近化學計量比鈮酸鋰條形光波導制備方法，該方法包括：樣品準備、光刻、濺射鈦金屬薄膜、剝離、鈦金屬膜預擴散、富鋰VTE處理、光波導端面拋光、周期極化共八個步驟。與現有技術相比，本發明制備的光波導，具有優良性能：損耗小，晶體缺陷少，光學均勻性好，且在波長變換中能具有獨特的優點：速度快，噪聲低，效率高，無啁啾，而且以相同的效率同時向下、向上轉換多個波長，能實現全透明變換。
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“周期極化鈦擴散近化學計量比鈮酸鋰條形波導及制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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