一種鐵?鋰離子對摻雜改性的高壓電系數氧化鋅基壓電薄膜及其制備方法,涉及一種高壓電系數的摻雜氧化鋅壓電薄膜的制備方法。是要解決現有方法無法使ZnO薄膜的壓電性能得到優化提高的問題。該氧化鋅基壓電薄膜材料,化學通式為Zn1?2x(FexLix)O。方法:一、將二水合醋酸鋅和乙醇胺溶解于乙二醇甲醚中,攪拌得到前驅體溶液;二、將九水合硝酸鐵和二水合醋酸鋰加入前驅體溶液中,攪拌得到溶液;三、將溶液陳化形成膠體;四、利用溶膠凝膠旋涂法將膠體在Si襯底上涂覆薄膜;五、熱解;六、通過重復步驟四和步驟五;七、將薄膜進行晶化處理;八、將薄膜進行電場極化處理,至室溫,得到極化后的薄膜。本發明用于無鉛壓電陶瓷領域。
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