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InP基激光器與薄膜鈮酸鋰光波導異質集成結構

841   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:34:07
本發明公開了一種InP基激光器與薄膜鈮酸鋰光波導異質集成結構，屬于光電集成芯片領域；該結構主要包括InP基激光器外延層薄膜、耦合層、薄膜鈮酸鋰光波導和襯底。InP基激光器外延層通過耦合層集成于薄膜鈮酸鋰光波導正上方，激光器輸出光通過倏逝波耦合機制耦合進入其正下方的鈮酸鋰光波導中傳輸，滿足InP基激光器芯片與薄膜鈮酸鋰光芯片的低損耗異質集成需求。
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“InP基激光器與薄膜鈮酸鋰光波導異質集成結構” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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