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薄膜鈮酸鋰器件

906   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 21:08:59
本實用新型公開了一種薄膜鈮酸鋰器件，所述薄膜鈮酸鋰器件由下至上依次包括襯底、緩沖層、鈮酸鋰層、絕緣層和熱電極，所述鈮酸鋰層為薄膜鈮酸鋰，所述鈮酸鋰層包括與熱電極對應的熱調相移區以及沿第一方向位于熱調相移區兩側的鈮酸鋰波導，所述第一方向為光傳導的方向；在鈮酸鋰層上設置有介質波導，所述介質波導與熱電極位置對應并且位于鈮酸鋰層和熱電極之間，所述鈮酸鋰波導和介質波導共同構成光波導。與現有技術相比，本實用新型的優點在于：通過在熱電極的熱調相移區形成介質波導，能夠避免鈮酸鋰波導刻蝕產生的Z界面導致的熱光偏置相位的改變，從而提供一種消除熱電效應電荷積累的熱光偏置結構，避免熱光偏置工作點漂移。
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