本發明公開了一種高調制效率的鈮酸鋰薄膜電光調制器,通過將鈮酸鋰電光調制器的電極制備成上下型結構,上層電極(信號極)分別位于光學波導上方,下層電極為地電極,因而上下型電極結構對光學波導可以起到100%的調制效率,遠高于傳統鈮酸鋰電光調制器的40%至50%的電光調制效率;此外,本申請采用具有單晶結構的、厚度為0.1μm至10μm的鈮酸鋰薄膜材料,可實現與傳統鈮酸鋰電光調制器相比更短的電極間距。上述兩方面因素可大幅降低鈮酸鋰電光調制器的半波電壓。
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