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帶有研磨壓力調整裝置的鈮酸鋰晶片研磨裝置及研磨方法

764   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:59:46
本發明公開一種帶有研磨壓力調整裝置的鈮酸鋰晶片研磨裝置及研磨方法，包括三維空間定位裝置、梁式力傳感器與研磨夾持機構；所述三維空間定位裝置上通過力傳感器安裝研磨夾持機構，實現研磨夾持機構所夾持的兩塊鈮酸鋰晶片在空間上內任意一點的定位。研磨夾持機構中夾持機構通過滑動的方式安裝在研磨壓力調整裝置中的滑塊上；研磨壓力調整裝置采用標定過的帶讀數頭的調節螺釘，實現研磨過程中鈮酸鋰晶片與研磨臺間的壓力調整。在進行研磨時需使兩塊鈮酸鋰晶片與研磨機的接觸點到研磨機主軸距離相等。本發明的優點為：使用標定過的帶讀數頭的調節螺釘，使研磨壓力的調整直觀可靠；且研磨時兩鈮酸鋰晶片定位方式，使兩鈮酸鋰晶片的研磨質量相等。
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