本發明提供了一種定量探測類鈣鈦礦薄膜的氧八面體旋轉和電荷密度波晶格畸變的方法,先在襯底上生長類鈣鈦礦薄膜,再退火得到產生氧缺陷及晶格畸變的薄膜樣品;放在衍射儀中,通過設定不同(H,K,L)得到不同的半指數峰強度值I(H,K,L)。將氧原子位置(un,vn,wn)與薄膜樣品的氧八面體旋轉角度α,β,γ和晶格畸變度Δ之間建立模型,形成Iexp與氧八面體旋轉角度α,β,γ及晶格畸變度Δ之間的方程關系,再將多組(H,K,L,Iexp)代入衍射方程中,使用基于遺傳算法的非線性尋優算法得到氧八面體旋轉角度α,β,γ和晶格畸變度Δ。上述方法能夠準確測定類鈣鈦礦氧化物薄膜的氧八面體旋轉角度和晶格畸變程度。
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