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偏轉可控的MEMS微型反射鏡結構

1126   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 20:19:42
本發明公開了一種偏轉可控的MEMS微型反射鏡結構，包括襯底層、鏡片層和犧牲層，犧牲層圖形化沉積與消除后，鏡片層與襯底層部分相連，部分懸空，襯底層包括襯底材料、襯底導電層、襯底圖形化金屬層和襯底保護層，鏡片層包括鏡片承載層、鏡片金屬層和鏡片補償層，襯底圖形化金屬層、鏡片金屬層與引線接口相連，基于本發明結構制造的光調配器件，能夠實現光線聚焦、反射、散射等多種功能，本發明可應用于太陽光平面聚焦、智能門窗陽光調節、光開關等多個領域，在新能源利用及綠色環保方面有著非常好的應用前景。
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