本發明一種鈣鈦礦柔性光探測器及其制備方法,包括如下步驟,步驟1,制備鈣鈦礦溶液;步驟2,在清洗干燥后的柔性基片上通過單向刮刀法制備鈣鈦礦薄膜,得到鈣鈦礦柔性薄膜;步驟3,將制備得到的鈣鈦礦柔性薄膜進行退火處理;步驟4,在退火后的鈣鈦礦柔性薄膜上蒸鍍金電極,得到鈣鈦礦柔性光探測器。該薄膜相比較于傳統旋涂法制備的鈣鈦礦薄膜,在性能上具有結晶質量高,晶界少,吸收波段寬,載流子壽命長,空氣穩定好等優點,在制備技術上,成本低,生產工藝簡單,能耗低而且能大規模生產?;诒景l明的鈣鈦礦柔性光探測器具有十分優異的光探測率、光響應度、彎曲穩定性和器件壽命。
聲明:
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