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大型環形氣相沉積爐

1104   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 18:00:53
本實用新型涉及炭/炭復合材料氣相沉積設備技術領域，具體公開了一種大型環形氣相沉積爐。其包括爐體、爐蓋及爐底板，在所述爐體內從外到里依次設有圓筒形保溫筒、外發熱體、外沉積筒，其特點在于，在所述外沉積筒內還設有內沉積筒，所述內沉積筒內設有圓筒形內發熱體，在所述內沉積筒和外沉積筒之間形成環形爐膛，所述環形爐膛的頂部設有爐膛蓋，所述環形爐膛的底部設有環形沉積底板，所述爐底板上設有多個進氣管，所述保溫筒的頂部設有保溫蓋。所述進氣管沿環形沉積底板呈環形均布。其與已有技術相比具有能充分利用爐膛空間，適應沉積大型環形工件和小型工件，升溫時間較短，溫度均勻性較好，產品一致性較好，造價低廉，維護方便等特點。
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“大型環形氣相沉積爐” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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