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立式大型化學氣相沉積爐的分布式加熱系統

979   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:58:25
本實用新型屬于C/C復合材料的生產領域，具體公開一種立式大型化學氣相沉積爐的分布式加熱系統，包括中心加熱器和周邊加熱器，在沉積室中心設有豎直設置的中心加熱器，在沉積室的側壁上沿沉積室的軸向間隔設置有若干個加熱單元，每個加熱單元分別包括沿沉積室的周向間隔設置的若干個周邊加熱器，每個中心加熱器和周邊加熱器分別對應設置有熱電偶、溫控器和電源，工作時，待處理產品擺放在中心加熱器和周邊加熱器之間的環形均溫區域內，產品各面均勻受熱，從根本上解決沉積室內溫度不均勻的問題，且每個加熱器獨立安裝，可以降低對制造精度的要求，從而降低制造成本，加熱器之間相互獨立，沒有連接、配合關系，安裝更容易，維護更方便。
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