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炭素材料發熱體

1153   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:55:25
本實用新型公開了一種表面具有抗氧化涂層的炭素材料發熱體它包括由碳/碳復合材料或石墨材料組成的基體(1),其特征是基體(1)的表面設有由原位生長的碳化硅晶須組成的過渡層(2),本實用新型在炭素材料基體上原位生長一層碳化硅晶須,利用碳化硅晶須的拔出橋連與裂紋轉向機制降低涂層中的裂紋尺寸和數量,有利于大幅度提高碳化硅涂層的抗氧化性能和抗熱震性能,而且整個制備過程可以通過化學氣相沉積連續完成,大大簡化了涂層的制備過程,可在半導體材料區域提純中作為輔助發熱體使用。
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“炭素材料發熱體” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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