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ScB2-B超硬復合薄膜及其制備方法

1038   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:54:19
本發明提供了一種ScB2?B超硬復合薄膜及其制備方法。所述的ScB2?B超硬復合材料，其特征在于，其化學式為(1?x)ScB2?xB，其中0＜x≤0.6。所述ScB2?B復合薄膜的制備方法，包括以下步驟：清除襯底表面雜質，腔體預加熱，襯底表面清洗刻蝕，采用用Sc、B兩靶磁控共濺射制備得到ScB2?B復合薄膜，通過控制兩個靶位電源功率和濺射時的腔體壓強等來實現組分的調節，可以獲得不同物理屬性(模量、硬度、熱膨脹系數等)的組成，滿足不同的使用需求和使用場景。本發明所提供的硼化鈧硬度高，適用于機械加工、油井鉆探和航天航空等許多領域廣泛應用。
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復合材料
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