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提高類富勒烯薄膜結合力和摩擦學性能的方法

839   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 17:50:09
本發明公開了一種提高類富勒烯薄膜結合力和摩擦學性能的方法。該方法利用等離子體增強化學氣相沉積技術,利用氮氣、磷化氫和甲烷作為氣源,在射頻電源和脈沖負偏壓的共同作用下在基底上沉積類富勒烯薄膜。其特點是:工藝簡單,經濟高效,沉積溫度低,重復性好,摩擦系數極低,鋼基底與類富勒烯薄膜結合力提升效果明顯。采用這種方法能夠大幅度提升類富勒烯薄膜的結合力和摩擦學性能,使類富勒烯薄膜起到更好的潤滑效果。此方法不僅適用于不銹鋼表面,在陶瓷、高分子材料、復合材料等材料領域也同樣適用,具有廣闊的應用前景。因此該發明所提供的提高結合力和摩擦學性能的方法應用潛力巨大。
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