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加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合微結構陣列的方法與裝置

1111   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:43:34
加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合微結構陣列裝置，包括激光發生器、真空腔、載物臺、紫外濾光鏡和氣體流量控制單元；載物臺以可拆卸固定的方式安裝于真空腔內的底部，真空腔具有開啟和密閉的通道；紫外濾光鏡安裝于真空腔，激光發生器發射激光透過紫外濾光鏡照射到位于真空腔中的載物臺，載物臺用于放置待加工物；氣體流量控制單元連通于真空腔，氣體流量控制單元用于控制進入到真空腔中的氣體；真空腔通過真空腔夾具固定安裝于三軸精密運動平臺。針對當前難以加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合材料微結構陣列的問題，本發明的目的在于提出一種加工聚苯乙烯、石墨烯納米復合微結構陣列裝置。
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