本實用新型公開了一種設置防漏硅內襯管的單晶爐抽空管道,包括抽空管道和防漏硅內襯管,所述防漏硅內襯管插入所述抽空管道內,并與所述抽空管道的內壁貼合;所述防漏硅內襯管為碳?碳復合材料制成的內襯管,并且所述防漏硅內襯管一端設置有外凸的限位環;所述防漏硅內襯管插入所述抽空管道與單晶爐爐體連接的一端內,并通過所述限位環進行限位。本實用新型的防漏硅內襯管采用碳?碳復合材料,具有超強的耐高溫性和良好的熱膨脹系數,在直接接觸硅液后不存在燙漏和急劇收縮而破損的現象,避免損傷電器等部件,從而有效降低事故造成的財產損失和對現場工作人員的安全風險。
聲明:
“設置防漏硅內襯管的單晶爐抽空管道” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)