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高可靠性的壓電半導體及其制備方法

1048   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:18:50
一種高可靠性的壓電半導體及其制備方法，所述壓電半導體包括壓電陶瓷、聚合物、叉指電極，所述壓電陶瓷先通過切割機切割成陣列結構，然后通過聚合物對陣列結構進行填充并且同時將其置于呈鏡面對稱的2片叉指電極之間進行封裝，得到壓電復合材料，所述壓電復合材料進行極化處理后得到壓電半導體；所述壓電陶瓷為(0.994?x)(K0.4Na0.6)Nb0.965Sb0.04503?0.006BiFe03?xBi0.5Na0.5ZrO3陶瓷,其中，x=0.01?0.05；所述聚合物為Dp?460環氧AB膠、JH灌漿樹脂、Adbest 360l、電子灌封膠GF?5中的一種。本發明所述的高可靠性的壓電半導體及其制備方法，結構設計合理，制備方法簡單，厚度薄、重量輕、柔韌度高，由叉指電極、聚合物填充的壓電陶瓷、叉指電極組成的壓電半導體，具有更好的溫度穩定性以及熱老化穩定性和經時穩定性，應用前景廣泛。
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