本發明公開了一種新型碳/碳復合材料的坩堝,包括碳/碳復合材料基體的坩堝,還包括涂于坩堝基體上的SiC涂層和Si3N4涂層。由于這種坩堝具備了石墨坩堝和石英坩堝兩者的優點,所以可以用于替代目前單晶硅拉制爐所用的石英坩堝和石墨坩堝的組合設備,并且可以減少由于上述兩種坩堝由于膨脹系數不同而造成的石墨坩堝開裂現象。同時本發明還公開了制備上述坩堝的方法包括如附圖1所述的步驟:制作坩堝預制體、化學氣相沉淀致密、樹脂浸漬碳化致密、熱等靜壓瀝青浸漬碳化致密、坩堝制品密度檢測、Si3N4涂層制備,由此方法制備的新型坩堝由于涂料與基體為一體所以具有使用方便,可以重復使用壽命長的特點。
聲明:
“坩堝及其制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)