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鍍膜用C/h-BN復合蒸發舟及其制造方法

710   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 17:04:14
本發明涉及真空蒸發鍍鋁薄膜用蒸發元件及其制作方法，具體涉及一種鍍膜用C/h?BN復合蒸發舟及其制造方法，該復合蒸發舟的舟體由C/h?BN復合材料制成，所述C/h?BN復合材料由多層六方氮化硼和石墨發熱體自上而下交替疊放并通過熱壓燒結成一整體，其特征在于：所述舟體表層為帶有蒸發槽的六方氮化硼燒結層，所述舟體底層為石墨發熱體，該石墨發熱體表面至少涂覆一層抗氧化熱阻涂層。本發明所述蒸發舟的電阻率相對穩定、發熱穩定，避免了因局部發熱不均而導致蒸發材料的濺射，提高了鍍膜質量。同時由于六方氮化硼燒結層保護了舟體，延長了使用壽命。本發明所使用的抗氧化熱阻涂層，大幅度降低了石墨發熱體在真空環境下的熱輻射熱能散失，起到了節約電能的作用。
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