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光敏薄膜晶體管及其制備方法

1387   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 01:00:07
本發明屬于半導體器件技術領域，具體為一種光敏薄膜晶體管及其低溫制備方法。本發明光敏薄膜晶體管采用鈣鈦礦量子點作為光敏材料，通過改變鈣鈦礦量子點中鹵族元素的比例，可以使器件對不同波長的光產生響應；同時，該光敏薄膜晶體管所制備方法含括：原子層沉積制備Al2O3柵介質，磁控濺射生長非晶銦鎵鋅氧化物（a?IGZO）溝道層，旋涂法制備鈣鈦礦量子點，電子束蒸發制備源漏電極；所有工藝長溫度均不超過40℃，且器件制備過程中無需進行熱處理，即可得到高性能光敏薄膜晶體管。本發明可應用于柔性電子和光電探測等領域。
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