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超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝

1001   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:14:02
本發明是一種制備超細碳氨硅復合材料的氣相 合成新工藝, 工藝中采取直流等離子弧為熱源的密閉反應器中 完成, 所采用的原料為三氯甲基硅烷和液氨, 兩者按1.4－1.8∶1 的比例(液態重量比)注入反應器, 并借助自由沉降過程中淬冷 直接復合成固態微粉, 反應借助調控等離子體發生器輸出功率和N2、H2比例穩定, 保持反應溫度在1100℃－1800℃之間, 經淬冷細化的微粉經加熱后處理去除氯化物雜質生成超細Si－N－C納米級復合材料。
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“超細碳-氮-硅復合材料氣相合成新工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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