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CZ硅晶體生長爐碳-碳復合材料導流筒及其制備方法

1310   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:12:02
一種CZ硅晶體生長爐碳-碳復合材料導流筒及其制備方法,其CZ硅晶體生長爐碳-碳復合材料導流筒簡體由表面涂層、碳-碳復合材料表層和碳-碳復合材料中心層構成。其制備方法包括以下步驟:(1)設計和制造導流筒胎具;(2)設計炭氈的形狀和尺寸;并據此尺寸裁剪下料;(3)坯體制備;(4)坯體固化;(5)CVD增密處理;(6)導流筒脫模,對其表面進行拋光打磨;(7)二次CVD增密處理;(8)對導流筒的端部進行機加工,精整其余表面;(9)對精整后的導流筒進行表面抗氧化抗沖蝕涂層處理;(10)烘干、高溫純化處理。本發明導流筒產品的整體性好,使用可靠性高,使用壽命長,更換操作方便;可提高成晶率,降低拉晶能耗10%左右。
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