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納米二氧化鈦薄膜及制備方法、光電器件的制備方法

1159   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
本發明屬于顯示器件技術領域，尤其涉及一種納米二氧化鈦薄膜的制備方法，包括步驟：分別獲取水蒸汽、醇蒸汽中的至少一種蒸汽和金屬有機化合物蒸氣；所述金屬有機化合物蒸氣至少包括鈦金屬有機化合物蒸氣；在第一保護氣體氛圍下，將所述水蒸汽、醇蒸汽中的至少一種蒸汽與所述金屬有機化合物蒸氣混合并進行熱反應，沉積形成納米二氧化鈦薄膜。本發明制備方法，通過氣相原料反應生成氣相游離的納米二氧化鈦顆粒，沉積形成薄膜，與基板結合牢固，且形成的薄膜表面致密，膜層均勻性好。另外，通過控制游離的納米二氧化鈦顆粒的沉積時間，可靈活調控形成的納米二氧化鈦薄膜的厚度，操作簡單靈活，適應于工業化大規模生產和應用。
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