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微電子電極組合件

1166   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
采用一種微電子電極組合件(1),其具有布置在襯底(2)上的第一電極(3),其中第一電極(3)具有由具有固態晶格的第一電極材料所制成的薄層,其中第一電極材料在與含氧化合物相接觸時氧化并且具有鈣鈦礦或者鈣鈦礦衍生晶體結構,以及其中電極(3)具有背向襯底(2)的功能表面(4),分隔層(5)布置在電極(3)的功能表面(4)上,這阻止功能表面(4)的區域中的電極材料的氧化,所述氧化改變電極(3)的性質。電絕緣功能層(6)布置在分隔層(5)上,以及第二電極(7)布置在電絕緣功能層(6)上。按照本發明,第一電極材料有利地具有化合物SrMoO3、SrMoO3?aNa?BaMoO3、SrVO3或Sr2MoO4其中之一,以及分隔層(5)具有化合物SrTiO3、DyScO3、GdScO3或SrHfO3其中之一。功能層(6)是具有分子式BaxSr1?xTi1±yO3±z(優選地為Ba0.5Sr0.5TiO3)的化合物。電極組合件(1)形成變抗器。
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