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帶有損耗補償功能的光柵層間耦合器及其制備方法

964   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:11:01
一種帶有損耗補償功能的光柵層間耦合器及其制備方法，屬于層間耦合器技術領域。由硅襯底、第一SiO2埋氧層、第一金屬反射鏡、第二SiO2埋氧層、硅層、SiO2隔離層、第一聚合物包層、鉺鐿共摻聚合物層、第二聚合物包層和第二金屬反射鏡構成；硅層由第一硅波導、硅光柵、第二硅波導組成；鉺鐿共摻聚合物層由鉺鐿共摻聚合物波導、鉺鐿共摻聚合物光柵和鉺鐿共摻聚合物光波導放大器組成；硅光柵及鉺鐿共摻聚合物光柵的單個光柵單元類似“臺階”結構。該器件分別將硅基光柵耦合器和聚合物光柵耦合器分別置于兩層，實現了硅基、聚合物光子回路的三維混合集成，實現了結構緊湊、高效的光柵層間耦合，在三維光子集成領域具有很強的應用潛力。
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