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基于阿基米德螺線微通道無閥壓電泵的MEMS流體陀螺

998   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:10:02
本發明涉及一種基于阿基米德螺線微通道無閥壓電泵的MEMS流體陀螺，包括上蓋和下蓋以及微腔，微腔內的容納有第一壓電振子，還包括利用MEMS工藝成型在上蓋或下蓋上的第一平面阿基米德螺線微通道和第一連通微通道，該第一平面阿基米德螺線微通道的兩端分別連接有微腔和流體進口，該流體進口的另一端連接有第一微流管，第一連通微通道的兩端分別連接微腔和流體出口，流體出口的另一端連接有第二微流管，該流體進口與流體出口均設于上蓋或下蓋上，第一微流管與第二微流管遠離流體進口的一端均設置有壓電單元，壓電單元通過導線與用于測量壓電單元的電荷變化量的傳感器單元連接。本發明結構簡單，成本低廉，尺寸較小，適用范圍廣，易于實現和大規模量產。
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聲明：
“基于阿基米德螺線微通道無閥壓電泵的MEMS流體陀螺” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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