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在薄膜材料中兼容遠紅外透明與導電性能的方法

1030   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:08:02
本發明屬于功能材料技術領域，具體涉及一種在薄膜材料中兼容遠紅外透明與導電性能的方法，通過設計光頻介電常數大于15的介質薄膜，并引入濃度為25?35％的陰離子空位以實現遠紅外透明與導電性能的兼容；具體通過制備菱方相的Bi2Tex材料來獲得光頻介電常數大于15的介質薄膜，Bi2Tex材料的制備工藝包括如下步驟：將純Bi2Te3靶安裝在磁控射頻濺射靶中，采用硅片或硫化鋅片作為襯底；抽真空度，通入高純Ar氣；控制純Bi2Te3靶的濺射功率，在基底上沉積；沉積得到薄膜材料后，采用管式爐退火。本發明方法設計科學合理，相比較于傳統通過調控載流子濃度或有效質量方法，其能夠在薄膜材料中很好地實現兼容遠紅外透明與導電性能。
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