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氧化鎘基透光波段可調的導電薄膜制備方法

1467   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:07:01
本發明提供了一種氧化鎘（CdO）基透光波段可調的導電薄膜制備方法。該方法的核心技術是導電薄膜的透光波段與導電薄膜中銦（In）組分的含量相關，In組分含量的變化與磁控濺射靶材、濺射功率，與靶材和基片之間的距離相關，導電薄膜厚度與薄膜沉積時間長短相關。該方法以雙面拋光玻璃基片為襯底，將兩種靶材的濺射參數調至設計數值，進行濺射沉積：測量獲得透明導電薄膜中In的含量。本發明所制備的不同銦（In）含量的氧化鎘（CdO）基透明導電薄膜，可供不同半導體材料體系太陽能電池選用，使光譜響應范圍內的太陽光更多地射入太陽能電池半導體結構中，從而可最大限度地提高太陽能電池的光利用效率，在太陽能電池、光電探測等光電功能材料和器件領域中具有良好的應用前景。
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“氧化鎘基透光波段可調的導電薄膜制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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