本發明涉及的是新型氧化物陶瓷膜濕敏材料制成的濕敏元件。其主要特征是以Mg、Ae、Fe、Ti等層狀或鏈層結構的硅酸鹽氧化物陶瓷,加入適當的添加劑而配制成濕敏功能材料漿,涂復于梳形電極基片上,經熱處理后的該濕敏元件,在0~100%RH范圍內,靈敏度高,感濕特征、穩定性、響應性、重復性均好,耐高溫,制造方便及成本低??蓮V泛地運用于高溫和常溫環境下對濕度精確測量和控制。
聲明:
“氧化物陶瓷膜濕敏元件的制造工藝” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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