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用于氣體感測的系統、裝置和方法

807   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 15:04:02
一種單片三維(3D)集成電路(IC)裝置包括感測層、存儲器層和處理層。所述感測層包括多個碳納米管場效應晶體管(CNFET)，所述碳納米管場效應晶體管用至少50種功能材料功能化以響應于暴露于氣體而生成數據。所述存儲器層存儲由所述多個CNFET生成的數據，并且所述處理層基于由所述多個CNFET生成的數據識別所述氣體的一種或多種組分。
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