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白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應用、磁電傳感器單元及其制備方法

784   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:40:06
本發明提供一種白鎢礦相的DyCrO4在磁電傳感器單元中的應用。本發明還提供一種磁電傳感器單元，包括：襯底，位于襯底上的下電極，位于下電極上的介質層，和位于介質層上的上電極；其中，所述介質層由白鎢礦相的DyCrO4形成。本發明還提供一種制備本發明的磁電傳感器單元的方法，包括如下步驟：(1)在襯底上形成下電極；(2)以白鎢礦相的DyCrO4為靶材，在所述下電極上形成介質層；(3)在所述介質層上形成上電極。本發明提供的磁電傳感器單元結構簡單并且由單相材料形成。本發明利用高溫高壓的方法處理，使得DyCrO4表現出了穩定有效的磁電耦合多鐵性質，為磁電耦合材料的探索發現提供了新的途徑。
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