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純無機鉛鹵鈣鈦礦吸收層及其制備方法和應用

1120   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:40:01
本發明涉及半導體材料技術領域，公開涉及一種純無機鉛鹵鈣鈦礦的X射線探測器及其制備方法和應用，制備方法包括將涂有SnO2中間層的導電襯底置于雙溫區管式爐的低溫區，將前驅體粉末置于雙溫區管式爐高溫區作為蒸發源；石英管抽真空后，將所述低溫區和高溫區分別升溫至100～300℃和550～660℃，通入載氣，保溫20～40min，在SnO2中間層上形成鈣鈦礦膜，得到所述純無機鉛鹵鈣鈦礦吸收層。該吸收層中鈣鈦礦層形貌良好，平整性高，穩定性好，制備的器件X射線靈敏度高，同時具有較好的穩定性和很低的暗電流，適用于X射線探測及成像應用。
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