三維真空運動(dòng)系統及其應用

本發(fā)明的實(shí)施例提供了一種三維真空運動(dòng)系統及其應用，涉及機械運動(dòng)平臺設計領(lǐng)域。該三維真空運動(dòng)系統包括：設置于真空腔內的運動(dòng)組件和設置于真空腔外的驅動(dòng)組件；驅動(dòng)組件包括真空動(dòng)密封件、直線(xiàn)軸承、電動(dòng)缸和電機，電動(dòng)缸與電機連接，真空動(dòng)密封件的兩端分別與電動(dòng)缸的推力桿和直線(xiàn)軸承連接；運動(dòng)組件包括相互連接的X軸運動(dòng)裝置和Y軸運動(dòng)裝置以及與X軸運動(dòng)裝置或Y軸運動(dòng)裝置連接的Z軸運動(dòng)裝置；驅動(dòng)組件為三個(gè)且分別用于驅動(dòng)X(jué)軸運動(dòng)裝置、Y軸運動(dòng)裝置和Z軸運動(dòng)裝置。該系統可實(shí)現大載荷、高速度、高精度的三維運動(dòng)，且在高溫、高真空、長(cháng)時(shí)間下服役下穩定運行。其可廣泛應用于3D打印設備、真空鍍膜設備或真空冶金設備中。