氧化鋅鎂靶材及制備方法

權利要求 1.氧化鋅鎂靶材的制備方法，其特征在于，包括以下步驟： 步驟S1、按設計組分別取ZnO和MgO粉末原料；將所述ZnO粉末加入去離子水進(jìn)行球磨處理6-12小時(shí)，使ZnO漿料中固體顆粒物的粒徑為0.3μm～0.6μm，將MgO粉末加入去離子水進(jìn)行球磨處理20-30小時(shí)，使MgO漿料中固體顆粒物的粒徑為≤0.1μm； 步驟S2、對所述ZnO和MgO漿料分別進(jìn)行噴霧造粒處理，得到不同粒徑的ZnO和MgO的粉末顆粒，即ZnO粒徑為0.3μm～0.6μm，MgO粒徑為≤0.1μm； 步驟S3、對所述ZnO和MgO的粉末顆粒按照質(zhì)量比(90～99％):(1～10％)進(jìn)行混合，再加入去離子水、分散劑及粘接劑，進(jìn)行第二次球磨混料5-10小時(shí)，獲得氧化鋅鎂漿料，將所述氧化鋅鎂漿料在60-100℃條件下烘干，控制含水率為1-5％，獲得氧化鋅鎂混合粉； 步驟S4、對所述氧化鋅鎂混合粉進(jìn)行冷等靜壓處理，獲得素坯； 步驟S5、在100～120℃的條件下，對所述素坯進(jìn)行干燥脫水處理，保溫時(shí)間2～7小時(shí)； 步驟S6、對干燥脫水處理后的素坯進(jìn)行分段脫脂處理，以0.5-2℃/min升至250℃，保溫1-3小時(shí)；1-3℃/min升至400℃，保溫4-6小時(shí)；以0.5-2℃/min升至550℃，保溫1-3小時(shí)；得到脫脂后的素坯； 步驟S7、對所述脫脂后的素坯進(jìn)行分段燒結處理，以5-15℃/min迅速升至550℃，不保溫；0.5-2℃/min升至750℃，保溫1-3小時(shí)；以0.5-2℃/min升至950℃，保溫1-3小時(shí)；以0.5-2℃/min升至1150℃，保溫1-3小時(shí)；以0.5-2℃/min升至1350℃，用120～300min緩慢升至1450℃，不保溫，直接隨爐冷卻到室溫，獲得氧化鋅鎂靶材半成品； 步驟S8、對所述氧化鋅鎂靶材半成品進(jìn)行機加工切割，表面打磨，尺寸修整，獲得滿(mǎn)足尺寸要求的靶材成品。 2.根據權利要求1所述的氧化鋅鎂靶材的制備方法，其特征在于，所述步驟S1中，所述ZnO和MgO粉末原料的體積比為1:2與去離子水混合；所述將所述ZnO粉末加入去離子水進(jìn)行球磨處理6-12小時(shí)后，含ZnO的漿料中固相體積分數為40～60％；所述將MgO粉末加入去離子水進(jìn)行球磨處理20-30小時(shí)后，含MgO的漿料中固相體積分數為50～