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鈣鈦礦太陽能電池生產的在線監測設備及其監測方法

928   編輯:管理員   來源:中冶有色網  
2023-03-01 00:30:11
本發明涉及一種鈣鈦礦太陽能電池生產的在線監測設備,包括顏色分析裝置,和/或溫度測試裝置,以及數據處理反饋系統,顏色分析裝置包括顏色探測頭,溫度測試裝置包括測溫探頭。鈣鈦礦太陽能電池基片放置在真空密封艙內進行蒸鍍加工生產,密封艙內設置有被蒸發控制系統控制的蒸發源,顏色探測頭和測溫探頭分別對準鈣鈦礦太陽能電池基片表面或背面區域,數據處理反饋系統的分析數據反饋至蒸發控制系統。本發明還提供一種鈣鈦礦太陽能電池生產的在線監測設備的監測方法。本發明通過監測鈣鈦礦薄膜生產過程中的各類性能參數,控制其反應進程,提高各批次鈣鈦礦薄膜生產的重復性。
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