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鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備及監測方法

990   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-01 00:30:11
本發明涉及一種鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備，包括X射線光電子能譜分析系統、電子學系統以及分析統計系統，X射線光電子能譜分析系統包括X射線源、電子透鏡以及電子能量分析器，在電子能量分析器內設置電子探測器，X射線源發射的X射線照射到鈣鈦礦太陽能電池基片表面產生光生電子，電子透鏡接收到上述光電子并傳輸至電子探測器，電子探測器將探測到的光電子信號經過電子學系統傳輸至分析統計系統，分析統計系統的分析數據反饋至蒸發控制系統。本發明還提供一種使用鈣鈦礦太陽能電池生產過程的在線監控設備的監測方法。本發明通過監測鈣鈦礦薄膜的生產過程中的性能參數，控制其反應進程，提高各批次鈣鈦礦薄膜生產的重復性。
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