硅晶片加工清洗廢液資源化回收方法

本發(fā)明提供一種硅晶片加工清洗廢液資源化回收方法，包括以下步驟：1）氟硅酸化：向硅晶片加工清洗廢液中加入石英粉進(jìn)行反應，然后進(jìn)行壓濾，得到第一濾液和第一濾渣；2）除氟：向步驟1）得到的第一濾液中加入硫酸鈉/硫酸鉀進(jìn)行反應，然后進(jìn)行壓濾，得到第二濾液和第二濾渣，第二濾渣為氟硅酸鈉/氟硅酸鉀；3）蒸餾：步驟2）得到的第二濾液減壓蒸餾得到硝酸和蒸餾母液，將蒸餾母液冷卻壓濾，得到第三濾液和第三濾渣，第三濾液為稀硫酸，第三濾渣為硫酸鈉/硫酸鉀。本發(fā)明將硅晶片加工清洗廢液中硅、氟、硝充分利用，沒(méi)有二次污染，其中硅與氟均用來(lái)生產(chǎn)氟硅酸鈉/氟硅酸鉀，硝酸再循環(huán)使用，降低廢酸的處置成本，工藝簡(jiǎn)單，成本低。