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高純鉭靶材制備方法

912   編輯:管理員   來(lái)源:中冶有色網(wǎng)  
2023-03-18 14:32:50
本發(fā)明提供的高純鉭靶材制備方法,包括:將鉭粉混合均勻;將混合好的鉭粉裝入模具;冷壓成型;真空熱壓燒結。與傳統的通過(guò)高真空電子束熔煉爐獲得高純鉭錠、然后對鉭錠反復進(jìn)行塑性變形和退火制得鉭靶坯的工藝相比,本發(fā)明通過(guò)粉末冶金的真空熱壓燒結技術(shù)直接由粉末制得鉭靶坯,消除鉭的“固有織構帶”,獲得內部織構均勻的可用于半導體靶材制造用的鉭靶坯。
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