鋁鉻合金靶材的短流程制備方法

權利要求 1.一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，該方法包括以下步驟： 步驟一、準備單質(zhì)鋁、鉻及輔助合金元素的粉末原料;所述輔助合金元素為硼、鎢或硅，且粉末原料中鋁、鉻、輔助合金元素的原子百分比分別為50%~70%、20%~40%以及不超過(guò)10%; 步驟二、將步驟一中準備的粉末原料在氬氣保護下混合均勻，得到混合粉末; 步驟三、在氫氬混合氣氛下，將步驟二得到的混合粉末進(jìn)行還原和烘干處理; 步驟四、將步驟三中還原和烘干處理后的混合粉末均勻鋪于石墨模具中，然后置于SPS燒結爐中抽真空，采用梯度加熱、加壓的方式進(jìn)行SPS燒結，得到燒結坯料; 步驟五、將燒結坯料進(jìn)行包覆熱軋及退火處理，獲得鋁鉻合金靶材坯料; 步驟六、將步驟五中獲得的鋁鉻合金靶材坯料進(jìn)行機加工、校直、真空退火及清洗處理，得到鋁鉻合金靶材。 2.根據權利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟一中所述鋁粉末的粒徑不大于180目，且質(zhì)量純度為99.99%以上，所述鉻粉末、輔助合金元素粉末的粒徑均不大于325目，且質(zhì)量純度均大于99%。 3.根據權利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟二中所述混合均勻的工藝為采用V型混粉機充氬氣保護混合2h~5h。 4.根據權利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟三中所述烘干處理的溫度為200℃~300℃，時(shí)間為2h~4h。 5.根據權利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟四中所述采用梯度加熱、加壓的方式進(jìn)行SPS燒結的工藝為：第一梯度：無(wú)壓加熱至100℃~200℃保溫5min~10min;第二梯度：加壓至10MPa~15MPa，加壓的同時(shí)繼續升溫至400℃~450℃保溫2min~5min;第三梯度：再次加壓至40MPa~50MPa，隨后升溫至溫度500℃~580℃，保溫5min~30min后完成燒結;第四梯度：關(guān)閉加熱電源，將壓力調至第三梯度加壓后壓力的1/2~2/3，待冷卻到室溫，再卸壓至零，得到燒結坯料。 6.根據權利要求1所述的一種鋁鉻合金靶材的短流程制備方法，其特征在于，步驟五中所述包覆熱軋的工藝為