直拉單晶爐的管道清潔方法

權利要求 1.一種直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，在單晶爐下?tīng)t室(1)上端設置配備有真空壓力表(3)的不銹鋼爐蓋(2)，該不銹鋼爐蓋(2)可拆卸地與單晶爐下?tīng)t室(1)密封連接;在單晶爐管道連接真空泵的一端附近增設快速放氣閥(4)，該快速放氣閥(4)通過(guò)電動(dòng)控制裝置(5)對處于負壓狀態(tài)的密閉空間進(jìn)行快速進(jìn)氣; 在單晶拉制結束后，將不銹鋼爐蓋(2)與單晶爐下?tīng)t室(1)密封連接后，按以下步驟進(jìn)行管道清潔： 步驟1：開(kāi)啟真空泵將單晶爐下?tīng)t室(1)內壓強抽至壓力表示數為-0.1 MPa;關(guān)閉真空泵及真空泵閥門(mén)，保壓10 min后若單晶爐下?tīng)t室(1)內壓力表示數基本不變，開(kāi)啟快速放氣閥(4)，使外界空氣發(fā)生迅速倒灌，至壓力表示數為0; 步驟2：打開(kāi)不銹鋼爐蓋(2)，使用清潔工具對單晶爐下?tīng)t室(1)堆積的粉塵及管道口附著(zhù)的粉塵進(jìn)行清理; 步驟3：重復以上步驟1、步驟2。 2.根據權利要求1所述的直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，所述不銹鋼爐蓋(2)的壁厚為12-15mm。 3.根據權利要求1所述的直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，所述不銹鋼爐蓋(2)下沿與單晶爐下?tīng)t室(1)上沿形狀一致，通過(guò)設置密封圈(6)實(shí)現不銹鋼爐蓋(2)與單晶爐下?tīng)t室(1)之間的密封連接。 4.根據權利要求1所述的直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，在所述不銹鋼爐蓋(2)帶有定位釘(7)，用于插入單晶爐下?tīng)t室(1)的定位孔(8)中，以確保不銹鋼爐蓋(2)與單晶爐下?tīng)t室(1)之間緊密貼合。 5.根據權利要求1所述的直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，所述步驟1、步驟2的重復次數為5~8次。 6.根據權利要求1所述的直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，在單晶拉制結束后，首先使用機械方法對管道內進(jìn)行清理，再使用權利要求1所述的方法進(jìn)行清理。 7.根據權利要求6所述的直拉單晶爐的管道清潔方法，其特征在于，所述步驟1、步驟2的重復次數為2~4次。 說(shuō)明書(shū) 技術(shù)領(lǐng)域 [0001]本發(fā)明涉及一種直拉單晶爐的管道清潔方法，屬于單晶硅制備技術(shù)領(lǐng)域。 背景技術(shù) [0002]隨著(zhù)半導體技術(shù)