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無機鈣鈦礦量子點改善ZnO基紫外探測器光響應時間的研究 內容總結：
半導體量子點以其優異的光性能 [1] [2] [3] ，如量子點尺寸決定發射波長，發光譜線窄和發光效率，使得量子點在下一代照明和顯示以及光通信技術和太陽電池、發光二極管、光探測器及激光上都有廣泛應用。
內容：
1. 引言
半導體量子點以其優異的光性能 [1] [2] [3] ，如量子點尺寸決定發射波長，發光譜線窄和發光效率，使得量子點在下一代照明和顯示以及光通信技術和太陽電池、發光二極管、光探測器及激光上都有廣泛應用
近年來鹵化物鈣鈦礦材料被認為是潛能巨大的半導體材料 [4] ，其優異的性能不僅在太陽能電池而且在LED和激光都有所應用
然而有機鈣鈦礦因為從合成角度而言，金屬有機鹵化物鈣鈦礦量子點合成方法相對簡單，但在得到量子點的同時，會伴有微米級尺寸鈣鈦礦的產生，最終量子點的純度難以保證
此外，有機鈣鈦礦量子點溶液的穩定性較差 [5] ，無機鹵化物鈣鈦礦量子點合成溫度較高，穩定性較強，量子點可以溶解在甲苯或己烷中，應用潛力更廣
雖然材料CsPbX3在50年前有過報道 [6] ，直到最近才有研究組將其合成為量子點，L.Protesescu等人 [7] 于2015年1月發表了合成CsPbX3 (X = Cl、Br、I)量子點的文章，他們詳細闡述了鈣鈦礦量子點制備過程
ZnO光電導探測器一般采用金屬–半導體–金屬(MSM)結構，歐姆接觸電極做成叉指狀
MSM結構具有結構簡單、量子效率高、內部增益高等優點，與平面場效應晶體管技術兼容，可應用在集成互連和高速取樣方面，寬帶大，可低壓工作
ZnO材料的光反應包括快速和慢速兩個過程，即電子空穴對的產生過程和氧吸收–解吸過程，后者在實際中往往起到主導作用，這使器件下降時間比較長，甚至可以達到秒(s)的量級
本文用無機鈣鈦礦量子點修飾ZnO表面，依靠量子點層與ZnO層之間所形成的半導體異質結，來提高光生載流子的分離速度，抑制ZnO的持續光電導效應，從而提高探測器的響應時間 [8] [9]
2. 實驗方案實驗采用射頻磁控濺射設備，在ITO薄膜上濺射一層ZnO薄膜
在濺射ZnO薄膜之前分別用丙酮、乙醇、去離子水各超聲清洗5 min，然后用
聲明：
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我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：肖友成, 楊小天*
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2025年08月05日 ~ 07日 
