權利要求書： 1.一種高性能微焦點X射線測厚儀，其特征在于，包括發射X光射線的X光管、將所述X光管聚焦的毛細管組件，和將所述毛細管組件與所述X光管出X光口進行裝配的安裝支架；所述毛細管組件包括光纖管，所述光纖管內設置有豎直的主導光孔和圍繞其設置的多個毛細導光孔；所述毛細導光孔包括與所述主導光孔平行的平行段，和與所述平行段連通的向所述主導光孔折彎的折彎段；所述安裝支架包括安裝所述毛細管組件的安裝柱，和將所述安裝柱與所述出X光口進行裝配的調節套；所述安裝柱內設置有與所述毛細管組件外形匹配的第一通孔，外側表面上端設置有環形凸緣；所述調節套上設置有與所述出X光口配合的第一凹槽，所述第一凹槽內壁與所述出X光口存在間隙；所述第一凹槽底部設置有與所述環形凸緣配合的第二凹槽，所述第二凹槽底部設置有與所述安裝柱匹配的第二通孔；所述調節套上設置有調節所述安裝柱水平位移的調節件；
所述X光管下表面轉動連接有至少三個圍繞所述調節套均勻分布的調節桿；所述調節桿包括連接桿和調節凸輪；所述連接桿一端與所述調節凸輪固定連接，另一端與所述X光管下表面轉動連接且端部設置有縱向活動槽，所述活動槽兩端均與所述連接桿側表面連通；
所述調節桿內設置有與所述活動槽連通的第三通孔；所述調節凸輪上設置有與所述第三通孔連通的第四通孔；還包括螺桿和與所述螺桿配合的螺母；所述螺桿伸入所述第三通孔和所述第四通孔內，且端部設置有與所述活動槽配合的橫桿；所述調節套外側表面設置有環形側翼，所述側翼上設置有與所述連接桿對應的調節孔，所述調節孔孔徑小于所述調節凸輪的最小寬度，大于所述連接桿外徑；所述調節件包括與所述調節凸輪配合的調節擋板，所述調節擋板位于所述調節凸輪和所述調節套之間；所述調節擋板朝向所述調節凸輪一側表面設置有與其配合的弧形調節槽。
2.根據權利要求1所述的高性能微焦點X射線測厚儀，其特征在于，所述高性能微焦點X射線測厚儀還包括樣品載料臺，所述樣品載料臺上設置有放置樣品的放置板和調節所述放置板移動的XYZ移動平臺。
3.根據權利要求2所述的高性能微焦點X射線測厚儀，其特征在于，所述高性能微焦點X射線測厚儀還包括主控板、為所述X光管提供電壓的高壓電源和控制所述XYZ移動平臺的馬達驅動組件；所述高壓電源和所述馬達驅動組件均與所述主控板電連接并受其控制。
4.根
聲明：
“高性能微焦點X射線測厚儀” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：深圳市善時儀器有限公司
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2025年07月09日 ~ 11日 
