權利要求書： 1.一種太陽能電池退火方法，其特征在于，包括：
步驟1，將表面沉積有氧化鋁薄膜層的硅片置于PECD管式爐中，并在所述PECD管式爐以初始溫度290℃～300℃為起始，以小于等于10℃/min的升溫速率進行升溫，直到所述PECD管式爐內的溫度達到終點溫度480℃～500℃，且在所述PECD管式爐升溫的過程中向所述PECD管式爐內通入氫氣和氮氣的混合氣體，對所述硅片進行氫鈍化；
步驟2，使得所述PECD管式爐在所述終點溫度恒溫25min～30min；
步驟3，在所述硅片的表面鍍SiNx薄膜層。
2.如權利要求1所述太陽能電池退火方法，其特征在于，在所述步驟1之前，還包括：采用三基甲鋁和水為原料，在溫度為260℃～280℃的條件下，在所述硅片的表面制備所述氧化鋁薄膜層。
3.如權利要求2所述太陽能電池退火方法，其特征在于，所述氧化鋁薄膜層的厚度為
8nm～15nm。
4.如權利要求3所述太陽能電池退火方法，其特征在于，所述步驟1還包括：向所述PECD管式爐爐內通入氫氣體積比例為5％～95％的氫氣和氮氣的混合氣體，將所述PECD管式爐的爐壓控制在0.1～0.15Mpa。
5.如權利要求4所述太陽能電池退火方法，其特征在于，在所述步驟1之前，還包括：對所述PECD管式爐內以所述初始溫度通入N2進行吹掃2min～5min。
6.如權利要求5所述太陽能電池退火方法，其特征在于，在所述步驟2到步驟3之間，還包括：對所述PECD管式爐內以所述終點溫度通入N2進行吹掃2min～5min。
7.如權利要求6所述太陽能電池退火方法，其特征在于，所述PECD爐管的升溫速度時間為35min～90min。
8.如權利要求7所述太陽能電池退火方法，其特征在于，所述PECD爐管的升溫速率為定值。
9.一種太陽能電池制備方法，其特征在于，包括如權利要求1?8任意一項所述太陽能電池退火方法。
10.一種太陽能電池退火裝置，其特征在于，包括PECD管式爐、加熱器、氫氣源、氮氣源、硅烷源、氨氣源、控制中心，所述PECD管式爐用于放置待處理的表面沉積有氧化鋁薄膜的硅片，所述控制中心控制所述氫氣源、所述氮氣源向所述PECD管式爐輸入氫氣和氮氣的混合氣體，同時控制所述加熱器對所述PECD管式爐內進行加熱，從初始溫度290
聲明：
“太陽能電池退火方法以及裝置和太陽能電池制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：浙江晶科能源有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
