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用于濺射透明導電薄膜的靶材

728   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:40
本申請提供了一種用于濺射透明導電薄膜的靶材，包括氧化物組分、硫化物組分、顆粒添加組分，并且引入核殼結構轉換材料顆粒，核殼結構的殼由拓撲絕緣體形成，所述殼結構中的拓撲絕緣體在顆粒表面形成高導電區域，并且對各個材料作進一步限定，降低了透明導電薄膜的靶材制備成本的問題，并且賦予透明導電薄膜能夠將通過透明導電薄膜的非可見光波段轉化成可見光，使透明導電薄膜在光應用領域更廣泛。
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聲明：
“用于濺射透明導電薄膜的靶材” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
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