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半導體分立器件封裝的真空固化機構

946   編輯:中冶有色網   來源:江蘇新智達新能源設備有限公司  
2023-11-29 13:39:24
權利要求書: 1.一種半導體分立器件封裝的真空固化機構,包括有供放置封裝框架(1)的底板(2)和蓋合于所述底板(2)上方的頂蓋(3),所述底板(2)中設置有轉運所述封裝框架(1)的移轉機構(4),其特征在于:所述底板(2)上設置有真空部(5),所述真空部(5)包括設置于所述底板(2)上的真空底倉(501)和加熱底板(502),所述真空底倉(501)為頂部開口的中空結構,所述加熱底板(502)設置于所述真空底倉(501)內部,所述加熱底板(502)和所述真空底倉(501)之間具有間隙,所述真空底倉(501)中穿設有支撐固定所述加熱底板(502)的支撐管(503); 所述加熱底板(502)上,沿所述移轉機構(4)的轉運方向橫向設置有移轉槽(504),所述真空底倉(501)的頂面高度低于所述移轉槽(504)的槽底高度,所述移轉機構(4)伸入所述移轉槽(504)中;所述真空底倉(501)的頂面設有環形的密封槽(507),所述頂蓋(3)上設置有真空頂倉(506)和驅動所述真空頂倉(506)上下運動的啟閉機構(505),所述真空頂倉(506)為底部開口的中空結構,所述真空頂倉(506)的底壁壓合于所述真空底倉(501)的頂壁,所述密封槽(507)中設有密封圈(508); 所述真空底倉(501)的底部連通有抽真空管(510)和氮氣管(509)。 2.如權利要求1所述的半導體分立器件封裝的真空固化機構,其特征在于:所述啟閉機構(505)包括固定于所述頂蓋(3)上的安裝座(5051),所述安裝座(5051)上豎直設置有若干個導套(5052),所述導套(5052)中豎直穿設有導柱(5053),所述導柱(5053)的末端與所述真空頂倉(506)的頂部固定;所述安裝座(5051)上豎直設置有啟閉氣缸(5054),所述啟閉氣缸(5054)的活塞桿末端與所述真空頂倉(506)的頂部固定。 3.如權利要求2所述的半導體分立器件封裝的真空固化機構,其特征在于:在所述頂蓋(3)上,位于所述真空部(5)左右兩側分別設置有氮氣供氣模塊(511);在所述頂蓋(3)上設置有隔套(512),所述真空頂倉(506)間隙配合設置于隔套(512)中且在所述啟閉機構(505)驅動下沿隔套(512)上下運動。 4.如權利要求3所述的半導體分立器件封裝的真空
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