1.本發明屬于自動加料技術領域，尤其是涉及一種六氟化鎢反應的鎢自動加料裝置。
背景技術：
2.六氟化鎢(wf6)為無色氣體或淺黃色液體，固體為易潮解的白色結晶，在潮濕空氣中冒煙；在半導體材料的制備中，高純度的wf6通常用于化學氣相沉積(cvd)和原子層沉積(ald)的單元操作，以生產鎢接觸插頭和硅化鎢電極，特別是用它制成的wsi2可用作大規模集成電路(lsi)中的配線材料。
3.目前，工業上生產六氟化鎢的方法主要有以下兩種：
4.(1)以氟氣作為氟化劑與鎢反應制備wf6(反應式為w+3f2→
wf6)，先通過電解制備粗氟氣，粗氟氣經吸附、深冷或精餾工藝脫除氟氣中夾帶的大量hf、氮氣、二氧化碳以及金屬粒子等雜質，凈化后的氟氣與鎢金屬反應合成六氟化鎢。
5.(2)以nf3作為氟化劑與鎢反應制備六氟化鎢氣體(反應式為w+2nf3→
wf6+n2)，該方法是將原料氣nf3與高純n2按相同體積比通入預熱器中加熱后進入反應器與金屬鎢反應生成wf6，合成后的wf6氣體采用低溫收集器液化收集，收集后的wf6升溫，進入精餾裝置精餾后得到高純wf6。
6.常用的六氟化鎢反應器主要為固定床，固定床分為立式和臥式結構兩種，在六氟化鎢反應器內部添加鎢金屬，控制反應器在200℃～450℃，然后通入氟氣或三氟化氮氣體與鎢反應生成六氟化鎢氣體。然而，現有的固定床反應器制備六氟化鎢時，鎢金屬加料方式為間歇性，頻繁的拆檢固定床反應器以及補加鎢金屬，易引入水分和空氣等雜質，得到的六氟化鎢的純度不高、且不能實現六氟化鎢的連續生產。
技術實現要素：
7.針對現有技術中存在的缺陷和不足，本發明提出一種六氟化鎢反應的鎢自動加料裝置，利用反應過程中鎢粉自動且定量的輸送裝置，實現氟化反應過程的自動化，解決了因間接性頻繁拆檢固定床反應器導致六氟化鎢的純度低和效率低的問題。
8.本發明提出一種六氟化鎢反應的鎢自動加料裝置所采用的技術方案如下：包括反應器主體、裝料料倉、氣體進料管、泄壓管、振動電機、底座；其中，反應器主體的一端設有可拆卸法蘭、另一端設有封頭；反應器主體的內壁上側設有氣體折流板；反應器主體的外壁上覆設有加熱器；氣體進料管貫穿設于靠近可拆卸法蘭的反應器主體上部，泄壓管通過三通管件與安全閥連接并貫穿設于靠近封頭的反應器主體上部；裝料料倉貫穿設于氣體進料管與可拆卸法蘭之間的反應器主體上部，裝
聲明：
“六氟化鎢反應的鎢自動加料裝置的制作方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究，如用于商業用途，請聯系該技術所有人。
我是此專利(論文)的發明人(作者)
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編輯：中冶有色網
來源：洛陽森藍化工材料科技有限公司
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2025年08月05日 ~ 07日 
