本發明提供一種基于鈣鈦礦結構的SrMoO3陶瓷靶材的制備方法,在避免Mo4+陽離子被氧化的前提下,以一種方便、低成本的方法合成燒結活性較高、尺寸均勻較小的SrMoO3前驅體顆粒;然后通過單項模壓加冷等靜壓成型;最后,選擇一種低能耗、設備成本小的SrMoO3陶瓷燒結方法。制備得到高密度、低電阻率、純鈣鈦礦相的高質量SrMoO3陶瓷,可滿足諸多SrMoO3薄膜鍍膜應用的需求。
聲明:
“SrMoO3陶瓷靶材的制備方法” 該技術專利(論文)所有權利歸屬于技術(論文)所有人。僅供學習研究,如用于商業用途,請聯系該技術所有人。
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