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鋯鈦酸鋇和鈮酸鉀鈉復合的無鉛壓電厚膜的制備方法

1082   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:29:00
本發明涉及無機材料中的壓電厚膜的制備方法,公開了一種鋯鈦酸鋇和鈮酸鉀鈉復合的無鉛壓電厚膜的制備方法。它包括以下步驟:(1)按照BaZr0.5Ti0.95O3的化學計量比,制備鋯鈦酸鋇先驅體溶膠;(2)按照K0.5Na0.5NbO3的化學計量比分別稱取碳酸鉀、碳酸鈉和五氧化二鈮,混合球磨、干燥、壓片、燒結,再經破碎、球磨,制備微納米級鈮酸鉀鈉粉體;(3)將微納米級鈮酸鉀鈉粉體與鋯鈦酸鋇先驅體溶膠混合,其中鈮酸鉀鈉的質量含量為40%～70%,制備穩定的混合漿料;(4)重復旋涂工藝-熱處理工藝,得到鋯鈦酸鋇和鈮酸鉀鈉復合的無鉛壓電厚膜。
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