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低成本低介低損耗LTCC微波陶瓷材料及其制備方法

919   編輯：管理員   來源：中冶有色網  
2023-03-18 14:28:55
本發明提供一種以(Zn1-xCox)2SiO4，0.05≤x≤0.1為主晶相組成的低成本低介低損耗LTCC微波陶瓷材料及其制備方法。該陶瓷材料在硅鋅礦結構的Zn2SiO4基礎上進行了適量Co2+的替代，采用LBSCA玻璃助燒降低燒結溫度，可實現900℃低溫燒結，制備得該微波陶瓷材料介電常數εr為6.1～6.6，具有極低微波損耗、品質因數Q×f值均在30000GHz以上、最高可達到56939GHz，諧振頻率溫度系數τf約為-55ppm/℃；其制備方法以Co2O3、ZnO、SiO2原料，依次進行稱料、一次球磨、烘料、預燒、摻雜、二次球磨、烘料、造粒、成型、燒結工藝；生產原料便宜、生產成本低、制備工藝簡單。該微波陶瓷材料在作為LTCC微波介質基板或器件材料時，可以顯著降低微波器件或模塊的損耗。
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